Tehnologija · Kako nastane čip
Svetloba iz eksplozij kositra
Najdrobnejše vzorce v čipih riše nevidna svetloba, ki je niti zrak ne prepusti. Rodi se v drobcenih eksplozijah kositra.
Foto: Fritzchens Fritz / CC0 1.0
50.000
kapljic na sekundo
Medtem ko enkrat pomežikneš, jih laser razstreli več tisoč.
Foto: H. França in sod. / CC BY 4.0
Kaj prikazuje shema
Kapljice kositra, zrcala in rezina so v prostoru brez zraka. Laser je zunaj; njegov žarek gre skozi sredino zbiralnega zrcala do kapljice. 1 kapljica kositra; 2 prvi blisk: palačinka; 3 drugi blisk: plazma.
Svetloba EUV iz plazme odide na 4 zbiralno zrcalo, nato na 5 zrcalo z vzorcem čipa. 6 Zrcala vzorec štirikrat pomanjšajo. 7 Svetloba pade na rezino z lakom. 8 Še veliko plasti, nato rezino razrežejo na čipe.
Vložena fotografija ob koraku 2: po prvem blisku se kapljica kositra splošči v palačinko.
Mož, ki mu niso verjeli
Leta 1986 je japonski raziskovalec Hiroo Kinoshita strokovnjakom predstavil poskus. Z nevidno svetlobo in dvema zrcaloma je preslikal majhen vzorec. Tej svetlobi pravimo ekstremna ultravijolična svetloba ali na kratko EUV. Daljno sorodna je UV-žarkom, ki te poleti porjavijo.
Kinoshita je verjel, da bodo z njo nekoč risali čipe. »Na žalost so poslušalci močno dvomili,« se je spominjal. »A moje prepričanje se ni spremenilo.« Na to je čakal več kot 30 let.
Kapljica, palačinka, plazma
Iz šobe švigajo kapljice staljenega kositra. Laser vsako kapljico zadene dvakrat. Prvi blisk je šibek in jo splošči v palačinko. Drugi je močan in jo spremeni v plazmo. Plazma je plin, vroč pol milijona stopinj. Atomi se v njem trgajo na koščke. Prav ta žareča plazma oddaja svetlobo EUV.
Zrcala namesto leč
A svetlobo EUV pogoltne vse: steklo in celo zrak. Zato iz stroja izsesajo zrak, svetlobo pa namesto steklenih leč vodijo zrcala. Vsako zrcalo pa pogoltne skoraj tretjino svetlobe.